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其實(shí)MOS管一個(gè)ESD敏感器件,它本身的輸入電阻很高,而柵-源極間電容又非常小,所以極易受外界電磁場(chǎng)或靜電的感應(yīng)而帶電,又因在靜電較強(qiáng)的場(chǎng)合難于泄放電荷,容易引起靜電擊穿。而靜電擊穿有兩種方式,電壓型及功率型。飛虹MOS管廠家今天要分享的電壓型靜電擊穿的特點(diǎn)。
電壓型擊穿,即MOS管柵極的薄氧化層發(fā)生擊穿,形成針孔,使柵極和源極間短路,或者使柵極和漏極間短路,它的特點(diǎn)是:
(1)穿通擊穿的擊穿點(diǎn)軟,擊穿過(guò)程中,電流有逐步增大的特征,這是因?yàn)楹谋M層擴(kuò)展較寬,產(chǎn)生電流較大。另一方面,耗盡層展寬大容易發(fā)生DIBL效應(yīng),使源襯底結(jié)正偏出現(xiàn)電流逐步增大的特征。
(2)穿通擊穿的軟擊穿點(diǎn)發(fā)生在源漏的耗盡層相接時(shí),此時(shí)源端的載流子注入到耗盡層中,被耗盡層中的電場(chǎng)加速達(dá)到漏端,因此,穿通擊穿的電流也有急劇增大點(diǎn),這個(gè)電流的急劇增大和雪崩擊穿時(shí)電流急劇增大不同,廣州MOS管廠家這時(shí)的電流相當(dāng)于源襯底PN結(jié)正向?qū)〞r(shí)的電流,而雪崩擊穿時(shí)的電流主要為PN結(jié)反向擊穿時(shí)的雪崩電流,如不作限流,雪崩擊穿的電流要大。
(3)穿通擊穿一般不會(huì)出現(xiàn)破壞性擊穿。因?yàn)榇┩〒舸﹫?chǎng)強(qiáng)沒(méi)有達(dá)到雪崩擊穿的場(chǎng)強(qiáng),不會(huì)產(chǎn)生大量電子空穴對(duì)。
(4)穿通擊穿一般發(fā)生在溝道體內(nèi),溝道表面不容易發(fā)生穿通,這主要是由于溝道注入使表面濃度比濃度大造成,所以,對(duì)NMOS管一般都有防穿通注入。
(5)一般的,鳥(niǎo)嘴邊緣的濃度比溝道中間濃度大,所以穿通擊穿一般發(fā)生在溝道中間。
(6)多晶柵長(zhǎng)度對(duì)穿通擊穿是有影響的,廣州MOS管廠家隨著柵長(zhǎng)度增加,擊穿增大。而對(duì)雪崩擊穿,嚴(yán)格來(lái)說(shuō)也有影響,但是沒(méi)有那么顯著。
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